作者:TANK007探客好手電 發(fā)表時間:2023-10-09 14:47:10 點擊:111
晶圓是制作半導體不可或缺的材料,晶圓表面冗余物、晶體缺陷、機械損傷(如物理劃痕)是較為晶圓常見的缺陷。
晶圓表面的冗余物包括納米級的微小顆粒、微米級的灰塵、相關(guān)工序的殘留物。對晶圓表面瑕疵檢測是晶圓生產(chǎn)廠家極為重視的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。
通常晶圓瑕疵檢查會采用專用LED手電筒或LED檢測燈輔助檢查人員目視完成檢查。
TANK007LED手電筒制造廠家給大伙講講晶圓檢查專用LED手電筒到底有什么講究?
1、晶圓檢查專用LED手電筒對亮度的要求
用于晶圓片瑕疵檢測的專用LED手電筒在距離30cm處的亮度必須達到300 000lux,通常需要20W的LED芯片。而傳統(tǒng)鹵素檢查燈達到同等亮度則需要185W。
2. 晶圓檢查專用LED手電筒對溫度的要求
雖然對晶圓檢查對環(huán)境溫度沒有苛刻的要求,但采用冷光源LED晶圓檢查專用手電筒顯然在功耗上和低溫表現(xiàn)更加突出,通??梢钥刂圃?0攝氏度以內(nèi)。采用鹵素燈光源的晶圓瑕疵檢查專用手電筒的工作溫度動輒60攝氏度以上在功耗和節(jié)能上不及LED晶圓檢查手電筒。
3. 晶圓檢查專用LED手電筒對壽命的要求
為了減少維護成本,晶圓生產(chǎn)廠家更喜歡采用LED手電筒對晶圓片瑕疵檢測,這是考慮到后續(xù)維護成本上,LED強光檢查手電筒壽命是傳統(tǒng)鹵素檢查燈的數(shù)十倍。晶圓片檢查專用LED手電筒壽命可達30000小時,鹵素檢查燈只有幾百小時,可謂高下立判。
4.晶圓檢查專用LED手電筒 對結(jié)構(gòu)上的要求
晶圓檢查專用LED手電筒通常在透明件上會采用光學透鏡,并設計有旋轉(zhuǎn)開關(guān)來無極調(diào)節(jié)亮度,這樣對于不同的晶圓片瑕疵可使用不同的亮度做到性能與續(xù)航的統(tǒng)一。
5. 晶圓檢查專用LED手電筒對檢查精度的要求
晶圓瑕疵檢測專用LED手電筒要求能夠檢測出晶圓表面低至5UM的瑕疵和缺陷。
以上就是TANK007LED手電筒廠家為朋友們整理的關(guān)于晶圓檢查專用強光LED手電筒的一些性能要求,當然我們也可以根據(jù)客戶的要求提供定制版本的晶圓檢查專用LED手電。
TANK007探客手電專注led手電筒領(lǐng)域23年,專業(yè)的led強光手電筒生產(chǎn)廠家,是中國公安部單警裝備供應商,國內(nèi)led強光手電筒領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè),多家世界500強企業(yè)長期合作伙伴,值得信賴。
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